PG电子我国电子工业部高纯水水质试行标准我国电子工业部高纯水水质试行标准 我国电子工业部高纯水水质试行标准 化学指标单位:μg/L 序号 水质项目 一级高纯水指标 二级高纯水指标 电阻率(25?)MΩ?cm 1 ?15 ?10 电导率，μs/cm 2 0.05 0.1 PH值 6.8,7.2 6.6,7.4 3 细菌总数，个/mL ,3 ,9 4 微粒(直径,0.5μm，粒/mL) ,150 ,300 5 二氧化硅 ,10 ,20 6 有机物(以COD计) ,0.3 ,0.5 7 钠 Na ,0.5 ,2 8 铁 Fe ,1 ,2 9 铜 Cu ,0.5 ,1 10 钙 Ca ,1 ,3 11 镁 Mg ,0.2 ,1 12 锌 Zn ,0.5 ,1 13 锰 Mn ,0.2 ,0.5 14 说明:?一级高纯水适用于大规模集成电路，微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。 ?二级高纯水适用于一般电路，分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。 ?本表按1980年电子工业部标准摘录。

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