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　中科院微电子研究所垂直沟道纳米晶体管研发工作获突破集微网消息，近期，中科院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心朱慧珑研究员团队，在实现对栅极长度和位置精准控制的基础上，提出并研发出一种C型单晶纳米片沟道的新型垂直器件（...

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